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貨號
GKI-22
服務(wù)
參數(shù)定制,免費培訓(xùn),終身維護(hù),售后無憂
主要配置
蒸發(fā)腔體
蒸發(fā)腔體為304不銹鋼,并有觀察窗
真空泵
配備冷凝泵或分子泵和無油機(jī)械泵
真空閥門
氣動控制高真空插板閥
蒸發(fā)源
多坩堝電子束蒸發(fā)源
樣品室
樣品臺
頂部安裝旋轉(zhuǎn)的樣品臺或側(cè)面安裝的轉(zhuǎn)角樣品臺
膜厚檢測
晶振膜厚監(jiān)控
真空測量
寬量程真空計用于測量真空和粗抽計
主要技術(shù)指標(biāo)
極限真空度
優(yōu)于fkh-8托
裝樣能力
一個最大8英寸的平板基片或多個小基片
蒸發(fā)速率分辨率
0.05 Angstroms/sec
膜厚分辨率
0.02 Angstroms
技術(shù)資料:技術(shù)資料包含產(chǎn)品說明書、電鏡圖、成分表、材質(zhì)單、粒度分析報告、技術(shù)方案、工藝流程、技術(shù)指標(biāo)、檢測報告等,請您聯(lián)系銷售工程師獲取。
請聯(lián)系客服獲取報價詳情
3500元 3500元
2500元 2500元
4500元 4500元
0元 0元
服務(wù)熱線
400-884-1388
地址:天津市濱海新區(qū)濱海街道新興東里16-5-502
電話:18518369092
郵箱:tfzcx@163.com
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